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| 综合型分析探针台 | ||||
| 型号 | SH-6 | SH-8 | SH-12 | |
| 外形 | 820mm长*720mm宽*890mm高 | 960mm长*850mm宽*900mm高 | 1300mm长*920mm宽*920mm高 | |
| 重量 | 170公斤 | 约230公斤 | 约300公斤 | |
| 电力需求 | 220VC,50~60Hz | |||
| 样品台 | 尺寸 | 6英寸，可360度旋转 | 8英寸，可360度旋转 | 12英寸，可360度旋转 |
| 行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12英寸*12英寸 | |
| 移动精度 | 1um | |||
| 样品固定方式 | 真空吸附 | |||
| 背电极测试功能 | 有，样品台电学独立悬空 | |||
| 针座平台 | 规格 | U型平台，*多可放置6个针座 | U型平台，*多可放置10个针座 | U型平台，*多可放置12个针座 |
| 行程&调节方式 | 平台可以快速升降，行程 6mm,并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降精度1um | |||
| 光学特性 | 显微镜行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm | ||
| 显微镜移动精度 | 1um | |||
| 切换镜头方式 | 显微镜快速倾仰30度 | |||
| 放大倍数 | 20~4000X | |||
| 镜头规格 | 目镜：10X；物镜：5X,10X,20X,50X,100X（选配） | |||
| CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | |||
| 点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | ||
| 机械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | |||
| 漏电精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱时） | |||
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口 | |||
| 应用方向 | 晶圆测试，光电器件测试，PCB/封装器件测试，射频测试，高压/大电流测试等 | |||
| 可选附件 | 卡盘快速拉出装置 | 加热台 | 光强/波长测试选件 | |
| 显微镜倾仰装置（倾仰30度） | 高低温样品台 | 射频测试附件 | ||
| 显微镜气动升降装置 | 屏蔽箱 | 有源探头 | ||
| 激光微加工 | 转接头 | 低电流/电容测试 | ||
| 探针卡夹具 | 防震台 | 兼容积分球测试选件 | ||
| 显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件 | 镀金卡盘 | 光纤夹具耦合测试选件 | ||
| 液晶热点侦测套装 | 同轴叁轴卡盘 | 封装器件夹具 | ||
| 高压/大电流测试套装 | 样品台快速升降，微调升降装置选件 | PCB/封装夹具测试选件 | ||
| 带真空底座的活动Chuck | 样品台旋转微调选件 | 特殊定制 | ||
| 特点 | ||||
| 稳定的结构 | 同轴丝杠传动结构，线性移动 | |||
| 针座平台可快速升降和微调，适合针卡测试 | 大手柄驱动，操作舒适，无回程差设计 | |||
| 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动 | 芯片内部线路/电极/PAD测试 | |||
| 高等院校/研究所/公司实验室使用 | LD/LED/PD的光强/波长测试 | |||
| **可用于12英寸以内样品测试 | 材料/器件的IV/CV特性测试 | |||
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