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超高真空闸阀-UHV gate valve的组成主要由三个组件组成分别为驱动器,阀车/阀门与阀体。Htc日扬真空(Htc Vacuum)所提供的闸阀可分成应用于高真空与超高真空两大类, 用于超高真空系统使用的闸阀是属旋转式直线作动。藉手动或气动的驱动阀杆来驱动真空阀门齿轮以达闸门之开阖功能。真空闸阀含有波纹管与无波纹管。接口端可配置KF, ISO, ANSI, JIS与CF法兰。
Htc日扬真空(Htc Vacuum)设计的所有系列真空闸阀适用于真空排气系统，超高真空应用的抽气系统，半导体技术，同步幅射中心与学术研究系统等。
规格说明
材质 | 本体 | 304 S.S. | |||
阀车 | 304 S.S. | ||||
闸门 | 304 S.S. | ||||
波纹管 | AM350 | ||||
使用寿命 | 4吋(包含)以下 | 100,000 cycles | |||
4吋以上 | 50,000 cycles | ||||
1大气压力下之漏率 | <5x10-10 mbar. l /sec for gasket seal | ||||
耐温限制 | 阀门本体 | 开 Open | 200℃ metal bonnet seal | ||
关 Closed | 150℃ metal bonnet seal | ||||
手动式和气动式之驱动器 | ≤ 80℃ | ||||
使用压力范围(mbar) | 1x10-10 ～ 1000 | ||||
**使用压差 ΔP(mbar) | 开启前 27mbar | ||||
标准密封 | 闸门 | Viton O-ring | |||
阀盖 | OFHC copper gasket | ||||
驱动器 | 手动式或气动式 | ||||
气压源 |
| ||||
表面处理 | 表面抛砂处理 | ||||
选配 | a. 位置指示器 | ||||
| 极限开关连接 | D-sub Female 9 pins Current Rating | 3A 110VAC | |||
| 5A 24VDC | |||||
| |||||
保固条件
自客户收到货品起一年内, 或到达产品设定的使用次数, 先到者为准
操作环境限于空气, 惰性气体及真空
因天然灾害, 错误操作造成的损坏及消耗品不在保固范围内
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