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Htc日扬真空拥有专业UHV真空技术提供同步辐射真空腔室设计制造, 依客户需求特制提供各式超高真空系统设计、建造、量测技术服务。
材质：S.S.304
表面处理：电解抛光
规格：CF150、CF200方形超高真空(UHV)腔室
泄漏率<2 x 10-10mbar.l/sec
工作压力<7.5 x10-10 torr
RGA总压<1 x10-9 torr时， 45amu以上物质总分压<0.1%
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