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PS系列干式螺杆真空泵
PS系列干式螺杆真空泵

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PS系列干式螺杆真空泵


广泛应用于面板、太阳能、冶金系统、镀膜、电浆制程、干燥处理、制程气体抽取、制程气体抽取、生技/制药、化工产业。

排气路径短,减少反应物沉积

线型密封性佳,泵浦性能优

结构简单,故障率低,维修容易

微电脑操作,远端监控,保护周全

500-1500m3/h(50Hz)

600-1800m3/h(60Hz)

1X10-3mbar

 

 





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