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PECVD系统就是为了使传统的化学气象沉积（CVD）反应温度降低，在普通CVD装置的前端加入RF射频感应装置将反应气体电离，形成等离子体，利用等离子体的活性来促进反应，所以这个系统称为增强型化学气相沉积系统（PECVD）。 该型号PECVD综合了国内大多数厂家的管式PECVD系统的优点，在PECVD前端加入了气体预热区，实验证明此结构沉积速度快，成膜质量好，针孔较少，不易龟裂。
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