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内外腔型百克级粉体分子层沉积系统
技术参数 ：
1样品**装载量：100g(可根据需求定制), 也可放置3D基体及多片平片
2样品反应温度：RT-300ºC
3前驱体：**可包括2组反应气体8组液态或固态反应前驱体,
厦门韫茂科技有限公司凭借在先进材料设备业务方面多年的经验，韫茂为新型芯片，半导体和锂电池领域的新材料开发和生产，提供***的纳米工艺设备和服务解决方案。根据您的特殊需求，我们为您定制打造创新纳米加工平台，保证高品质的设计，多功能，易于使用的界面，严格的安全控制，以及快速的交付和服务。
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