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产品功能:
◆设备烘干，然结一体化结构紧凑合理，符合半导体制造标准。
◆稳定可靠的工艺温度控制系统（采用英国WEST温度控制器）。
◆采用美国进口加热灯管加热。
◆采用先进的文氏排气系统，从而保证了有害气体的不泄露。
◆设备控制采用工业控制机统一控制。
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