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SimulTek 原子氧源
采用激光轰击氧分子，形成中性氧原子束流，性能如下：
原子氧能量：4~7eV
原子氧束流通量大于5.0×1015 atoms/cm2/s
原子氧纯度大于95%
束流均匀性优于90%
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