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XRD-OEM的特点
可以集成任何自动化或处理系统
适用于恶劣环境(研磨、锯切)
紧凑、标准的工业接口
独立定位测量
测量平面或圆周
光学等级检测
技术参数
可测量材料：硅，碳化硅，砷化镓和更多
样品尺寸：钢锭直径450毫米
冷却：空气，低噪音
可能的用途：在锯/磨|平/缺口检测前对大型晶锭进行预对准
应用实例
硅锭取向:
磨削前对平面和缺口位置的检测
直径可达8 "
长度可达40厘米
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