ETD-800 型全自动等离子溅射仪外观亮丽做工精致，

机箱大小仅有310mm x 260mm x 115mm。

ETD-800小型离子溅射仪是专门为扫描电子显微镜用户设计的全自动镀膜设备；

操作简便，放入样品后可一键搞定；数字式计数器满足精准定时要求。

特别适用对膜颗粒大小要求高的场发射扫描电子显微镜。

具有成膜均匀，操作简单，所需时间短，过程可控等优点。

可以使用Au，Pt，Cr、Al、Cu等靶材。

配有高位定性的飞跃真空泵

参数：

主机规格：260mm×307mm×260mm（W×D×H）

电源规格：220V(可做110V)，50HZ

靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（标配），也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。

真空样品室： 硼硅酸盐玻璃 115mm×100mm（D×H）

定时器： *长时间：3600S

机械泵： 1L/S

**电压： -1200 DCV

特点：

1、同时可以通过更换不同的靶材（金、铂、银等），以达到更细颗粒的涂层。

2、一键式操作，使用方便。

3、真空保护可避免真空过低造成设备短路。

需要镀膜的样品

1、电子束敏感的样品:

主要包括生物样品，塑料样品等。S EM中的电子束具有较高能量，在与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料，那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用，防止此类损伤；

2、非导电的样品:

由于样品不导电，其表 面带有“电子陷阱”， 这种表面上的电子积累 被称为“充电”。为了 消除荷电效应，可在样 品表面镀一层金属导电 层，镀层作为一个导电 通道，将充电电子从材 料表面转移走，消除荷 电效应。在扫描电镜成 像时，溅射材料增加信 噪比，从而获得更好的成像质量。

3、新材料:非导电材料和半导体材料