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CD1000等离子表面处理设备
CD1000等离子表面处理设备

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北京燕京电子有限公司

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产品介绍:

  • 反应舱:

    材料:铝

    有效尺寸:700 x 700 x 1000mm

    容积:490升

    舱门:装有可视窗口

    托盘:8个。尺寸:591 x 697 x 40mm

  • 真空度测量:

    皮拉尼真空计(利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的,而电阻丝温度的变化又与其周围气体的热导率有关)

  • 真空泵:

    旋片式真空泵;480m3 每小时的机械增压泵。

  • 频射发生器:

    0~2500w可调,100KHZ发生器

  • 控制系统:

    触摸屏操作,PLC控制系统

    PLC可实现下列功能:

    1、自动控制反应过程;

     2、根据处理材料设定不同的处理工艺流程;

     3、测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标;

     4、监测所有的运行指标,保证在设定范围之内;

     5、 设定操作、维护密码。

  • 电源:

    380V AC、三相、50Hz、40A.

  • 反应气体:

    一个气体输入端口,含气体流量控制器(MFC);根据用户需要,可扩展

  • 气体输入:

    直径1/4''(0.645厘米) 管道;输入压力:1Bar.

  • 尾气排放:

    直径38mm 输出端口。

  • 安全性能:

    急停开关;真空泵保护锁;高温保护锁;CE安全认证。

可选件:

  • 频射发生器:2.45GHZ, 13.56MHZ

  • 多个气体输入管道。

  • 根据客户工艺要求制作的软件程序

  • 根据客户要求制作的托盘。

  • 辊轮式载料系统。

  • N2 Purge.

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10分

售后服务

10分

易用性

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