XBS三级滤过四极质谱(MBE Deposition Rate Monitoring / Control System)，适于精确的MBE分析，其他气体分析和科学实验使用。Windows™ 界面的MASsoft软件通过RS232、RS485 或以太网控制。

·离子源控制，用于软离子化和表观电势质谱·灵敏度增强用于大质量数的传输，自动质量数范围列表

·一级过滤处增加射频，抗污染物能力增强·内置UHV 兼容的水冷却罩

·灵敏度高，检测范围： 100% 至5ppb

·质量数范围： 0~ 510amu·长期稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5%)·交叉离子源，束接收角同轴的横断面呈 ±35°·2mm 束接受孔，也可为特殊使用者配置·分子束研究中，检测极限低至30 ions/s·监测生长速率： 1? / min，或更低