仪器简介：

1. 适合做多层薄膜的深度分析。

2. 很好的、耐用的、普通目的的二次离子质谱仪。

3. 方便使用。

4. 样品可以手动转换，由于分析速度快所以每天可以分析一定数量的样品。

5. 我们的系统可配置快速原子枪，使我们可以轻松处理绝缘的样品。

6. 我们还可以做元素成像（就象化学地图）和混合模式扫描，自动测量正、负和中性粒子。

7. 我们的系统是典型的超高真空工作台，很容易满足很多其它分析的使用。

结构紧凑，但不损失性能。真正的高性价比。

技术参数：

质量数范围：300，510或1000amu

分辨率：5%的谷，两个相连的等高峰。

检测器：离子计数检测器，正、负离子检测

检测限：1:10E7

质量过滤器：三级过滤四极杆（9mm杆）

主离子枪： A，氧离子或其它气体，能量到5KeV

B，Ga离子枪，能量25KeV（选配）

空间分辨率：A：100～150um

B: 50nm

取样深度：2个单分子层（静态）

不受限制（动态）

主要特点：

? 高灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围

? SIMS 成像，分辨率在微米以下

? 光栅控制，增强深度分析能力

? 所有能量范围内，离子行程的*小扰动，及恒定离子传输

? 差式泵3级过滤四极杆，质量数范围至1000amu

? 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器

? Penning规和互锁装置可提供过压保护

? 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制