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动态标准气体发生器
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MF600动态标准气体发生器

l 大容量特氟龙涂层的渗透腔;

l 可同时使用多种类型和尺寸的渗透管;

l 高精度温控模块控制炉温;

l 温控双显示;

l 带螺纹的螺母可方便渗透管快速放入或取出。

l 仪器参数

l 温度:高于室温10100控制精度±0.1

l 渗透腔:Φ24mm*130mm

l 气体流量:0-1000mL/min(带气体预热).

MF601动态标准气体发生器

l 大容量特氟龙涂层的渗透腔;

l 可同时使用多种类型和尺寸的渗透管;

l 高精度温控模块控制炉温;

l 可以压力调节,有压力指示;

l 带流量调节功能,可以显示气体流量;

l 温控双显示;

l 带螺纹的螺母可方便渗透管快速放入或取出。

仪器参数

l 温度:高于室温10100控制精度±0.1

l 渗透腔:Φ24mm*130mm

l 气体流量:0-500mL/min(带气体预热);.

l 载气入口:1/4” Swagelok

l 入口压力:0.3-0.4MPa

MF610动态标准气体发生器

l 大容量不锈钢渗透腔;

l 可同时使用多种类型和尺寸的渗透管;

l 高精度温控模块控制炉温;

l 温控双显示。;

l 精准的流量控制系统,可精确控制气体流量;

l 零气和标气可自由切换。

仪器参数

l 温度:高于室温5100控制精度±0.1

l 渗透腔:Φ25*170mm

l 气体流量:100mL/min(带气体预热);

l 流量计: 0-10L/min±1%SP.

l 稀释比例:6:196:1(标准)

MF640动态标准气体发生器

l 双大容量特氟龙涂层的渗透腔;

l 可同时使用多种类型和尺寸的渗透管;

l 高精度温控模块控制炉温;

l 渗透炉分别独立控温;

仪器参数

l 温度:高于室温5100控制精度±0.1

l 渗透腔:Φ24mm*130mm

l 气体流量:0-500mL/min(带气体预热);.

l 载气入口:1/4” Swagelok

l 入口压力:0.3-0.4MP

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