GC8800系列

高纯气杂质PDHID分析

高纯氦杂质分析

H2，O2，Ar，N2，CO2，CH4 *小检测量优于 20ppb

高纯二氧化碳杂质分析

H2，O2，Ar，N2，CH4 *小检测量优于 20ppb

高纯氢杂质分析

N2，H2，CH4，CO2，CO*小检测量优于 20ppb

下列仪器关键部件均由美国VICI等公司进口

PDHID检测器

氦气纯化器

流路系统

样品过滤器

色谱柱

GC8802

SF6杂质单柱PDHID分析

色谱仪

分析SF6中CO，CF4，CH4，CO2，C2F6，SF6，SO2F2，C3F8

GC8803

含氟气体分析专用色谱

一次进样后完成全分析

检测器：高灵敏度、耐腐蚀的TCD

进样：VICI自动采样阀技术

采样：无死体积采样或在线采样

方式，一次性完成常见杂质检测。

重复性：RSD≤1％。

检出限：H2-100ppm; F2-100ppm; Kr-500ppm; HCL-500ppm