紧凑式 — 模块化

两种型号

CCU-010 镀膜机提供两种款型。CCU- 010 LV低真空镀膜机，CCU- 010 HV 高真空镀膜机。采用模块化概念，便于以后把低真空镀膜机转变为高真空镀膜机。

智能设备

不论您想要进行溅射金属、碳蒸发还是等离子处理，您需更换工作头，就能完成各种应用。

没有不必要的停工期

设备基本上即开即用。通过把高质量的材料和部件与思路相结合，缩短了工艺时间。采用自动模式，实现了稳定、均匀的薄层镀膜。

紧凑实用

尺寸小巧，节省了宝贵的空间。重量已经减至低。由于镀膜机统一使用标准化的真空接口，还能与第三方设备配套使用。

启用简单，服务方便

拆开包装，连接线路，直接启用！省去了高昂的启用成本。设备采用即插即用概念，您自己就能启用。您需接通电源和工艺气体即可。

凭借一体式USB服务接口，服务技工可以在现场或者通过互联网远程进行快速错误分析。采用模块化配置，可以有指向性地更换有缺陷的部件。

亮点和特性：

· 一台设备完成溅射、碳蒸发和等离子处理（亲水/疏水）等多项工作。

· 使用直径54毫米、厚度多3毫米的靶材，可以快速、方便地更换。

· 长寿命靶材

· 采用磁控溅射工作头，实现了细颗粒溅射，适用于高分辨率FESEM应用领域。

· 可以进行氧化铟锡（ITO）溅射和碳溅射。

· 玻璃工作腔Φ120毫米（DIN 100 ISO-KF兼容），带内爆防护和an全监控。

· 自动靶材挡板

· 以电子方式调节工作真空度，带皮拉尼（Pirani）和冷阴极真空测量系统

· 自动阀门控制，用于控制两种工作气体和排气

· 靶材冷却，带温度监测

· 高度可调、可倾斜的圆形样品台（Φ80毫米）。样品台不需使用工具即可取下，便于清洗（喷砂处理）。

· 速度受控的旋转式或旋转行星式样品台，有多种样品支托选配件

· 采用双石英测量系统进行膜层厚度测量（小样品在中xin测量，大样品在边缘测量）

· 整体式MD 1 Vario-SP隔膜泵（HV款型）

· 整体式Hi Pace 80涡轮泵（HV款型）

· 宽范围电源（90VAC - 260VAC)）

· 5.7英寸TFT触摸式图形显示屏

· 直观易懂的用户软件，具备很多有用的功能

· 便于创建镀膜工序，结果的再现性

· 可以存储/查看近十次操作

· 采用基于Windows的软件Coating LAB（镀膜实验室）对工艺数据进行图形化展示。

· 具备在断电情况下自动排气的功能。此功能可以防止系统受到前级泵油（LV款型）的污染。

· USB接口，便于进行工艺分析和软件更新

· 统一接口，用于连接不同的工作头

· 工作头自动识别

· 6毫米乐克利（Legris）接口，用于连接两种工作气体和排气

· 法兰接口（DN 25 ISO-KF），用于连接外部前级泵（LV款型）

· 可以用作单纯的泵送装置

· 尺寸小，重量轻

· 瑞士品质