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二氯硅烷氦离子色谱仪仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市成果转化A级项目、上海市重点新产品、上海市火炬计划和2009科学仪器产品等称号。
| 项目名称 | 指标 | ||
| 三氯氢硅(SiHCl3 )含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 10 | ||
| (一氯硅烷+氯化氢)含量（SiH3Cl+HCl）含量”，以氯化氢计（体积分数）/l0-6 ≤ | 50 | ||
| 氮（N2）含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| （氧+氩）（O2+Ar）含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 氢（H2）含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 10 | ||
| 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 总烃（THC）含量，以甲烷（CH4）计（体积分数）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 金属元素及其他元素含量 | （硼+铝）（B+Al）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | |
| （磷+砷）（P+As）含量/（μg/kg） ≤ | 0.3 | ||
| 镓（Ga）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | ||
| 锑（Sb）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | ||
| 铟（In）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | ||
| 钙（Ca）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | ||
| 铬（Cr）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | ||
| 铁（Fe）含量/（μg/kg） ≤ | 5 | ||
| 钾（K）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | ||
| 钠（Na）含量/（μg/kg） ≤ | 0.2 | ||
| 镍（Ni）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | ||
| 钼（Mo）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | ||
| 锰（Mn） 含量/（μg/kg） ≤ | 0.2 | ||
| 铜（Cu）含量/（μg/kg） ≤ | 0.2 | ||
| 镉（Cd） 含量/（μg/kg） ≤ | 0.5 | ||
| 钴（Co）含量/（μg/kg） ≤ | 0.5 | ||
| 锌（Zn）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | ||
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