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URE-2000系列紫外单面光刻机

.URE-2000/A8紫外光刻机

主要产品技术特征及指标：

•曝光面积：200mmx200mm ;

•分辨力：2um ;

•对准精度：2um ;

•掩模尺寸:5英寸、礫寸、9英寸;

•样片尺寸:碟寸、礫寸、8英寸;

• wafer chuc棲面：防止光反射涂层;

•掩模样片整体运动范围:X : 10mm;Y:10mm ;

•掩模相对于样片运动行程:X: 5mm; Y: 5mm; : 6。；

•汞灯功率：100QW （直流）;

•曝光能*密度：2 15mW/cm2 ;

•光源能■控制:光源恒功率（每日测嵐光强，微调recipe（参考356nm波长）；

•曝光峰值波长365 nm ;

•曝光方式:定时（倒计时方式0.1s—9999.9s）;

•光刻版夹具兼容性

•具有盲曝粗对准功能.

产品型号	曝光面积	光刻分辨力	汞灯功率	照明不均匀性
URE-2000B	lOOmmXIOOmm	0.8 pm （胶厚2 pm的正胶）	1000W13iE （德国欧司朗）刼础	2.5% （＜D100mm 范围）
URE-2000/35	lOOmmXIOOmm	翎力:1 pm （胶厚2 pm的正胶）	350WM流（徳国欧司朗）	3% （饥00mm范围
URE-2000/35A	150mmX150mm	1-1.2 pm （胶厚2卩m的正胶）	350W进口颤高陵国欧司朗）	6% （0150mm 范围）
URE-2000/30	lOOmmxlOOmm (磔寸）	潮力:￡1 pm （瞄 1.5\|jm 的 IEK）	談麟电源	（35OW1：^CD 3% （＜P100mm 范围）
URE-2000/25	lOOmmXIOOmm	彻力:1.2 pm （胶厚2 pm的正胶）	赦嶙电源350W 直流，进口	3% （＜P100mm 范围）
URE-2000/17 （台式）	lOOmmXIOOmm	彻力:1.5 pm （胶厚2呻的正胶）	200瀕口颤（德国欧司朗）	5% （0100mm 范围）

URE?2000系列双面光刻机

URE-2000S/A8型奴面光刻机

主要产品技术特征及指标:

•采用**技术一积木错位蝇眼透镜消衍射技术和线条陡直增强技术，曝光图形质量好，光刻分辩力高.

•采用**的CCD囲像底面对准，单曝光头正面曝光实现双面对准功能.

•采用新颖的高精度，多自由度掩模一样片精密对准工件台结梅掩模与样片对准过程直观，套刻对准速度快，精度高样片的采

用推拉茹准平板，真空吸附式，操作方便。

•采用1000W长寿命型汞灯光源，曝光能量高，聚光角度小，光源稳定，持久。

•支持真空接触曝光，硬接触曝光，压力接触曝光，接近式曝光四种曝光功能。

•配备循环水冷却系统，照明面温度恒定。

•具有纳米压印接口功能.

•曝光面积:8英寸；对准精度：M±2 nm （双面，片厚0.8mm） /0.8皿（单面）.

•掩模尺寸：礫寸、5英寸' 7英寸、9英寸.

•光刻分辨力:1pm.

•曝光方式:定时（倒计时方式0.1S-9999.9S任意设定）和定剂量.

•**胶厚：500 pm （SU8胶，用户提供检测条件）?

•汞灯功率:1000W （直流，进口直流高压汞灯德国欧司朗）.

•照明不均匀性：5% （ 0200mm范围）.

产品型号	曝光面积	光刻分辨力	汞灯功率	照明不均匀性
URE-2000S/A	6詞	1pm	looovmnw^Hj^r （德国欧司朗）	2% （OlOOmm 范围） 3% （＜P150mm 范围
URE-2000S/B	篠寸	1pm	looovmnMMj^r （德国欧司朗）	2% （（plOOmm 范围）
URE-2000S/25A		l\|jm	350W进口直流高压汞灯（德国欧司朗）	3% （（PlOOmm 范围） 5% （0150 mm范围）
URE-2000S/25B	磔寸	1pm	350W进口直流高压汞灯（德国欧司朗）	3% （（PlOOmm 范围）
URE-2000S/35L （A）	6知	1pm	紫外LED进口灯源	1.5% （（PlOOmm 范围） 3% （0150 mm范围）
URE-2000S/35L （B）	僥寸	1pm	紫外LED进口灯源	1.5% （0100mm 范围）
URE-2000S/25S	4钢6知	1pm	350瀕口直流高压汞灯（德国瞄朗）	3% （0100mm 范围） 5% （（P150 mm范围）

投影光刻机

.TYG-2000S系列投影光刻机

主要产品技术特粧及指标：

•软件界面友好、科学、直观.可对当前曝光区域，待曝光区域，曝光参数等信息提供实时的图形化• •通过选

配背面对准模块，可实现双面对准曝光，将该机型升级为具有双面对准曝光功能步进投影光刻机。 •配置焦面检

测自动控制系统，焦面位置设定后，曝光过程中自动实时完成焦面调整。

•采用冷光膜与i线照明系统，曝光波长为365nm ，曝光面为冷光，曝光图形方、陡、直.

•支持真空接触曝光，硬接触曝光，压力接触曝光，接近式曝光四种曝光功能.

•采用夸利技术-积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明不均匀优于2%。

•采用先进的离轴对准系统，对准过程自动完成，对各种不同大小的基片，

（含碎片）对准十分适用.

•对准精度：±0.5卩m.

•照明均匀性：2%。

•曝光面积：3mmx3 mm ~ 50mmx50mm.

•调焦台运动灵敏度：1 jim.

•掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸.

•调焦台运动行程：5mm.

•光刻分辨力：。.3卩m ~ 5 ym.

•检焦：CCD检测，检测精度0.5 pm.

.光源：350施形汞灯，

•汞灯功率：1000W （直流，进口直流高圧汞灯德国欧司朗）.

产品型号	曝光面积	光刻分辨力	汞灯功率	照明不均匀性
TYG-2000/A		0.8pm - 1pm	350W	2%
TYG-2000/T1	0mm x 10mm	1pm	350W进口直流高压汞灯 (德国欧司郎)	+2%
TYG-2000/T2	20mmx20mm	2pm	350W进口颤mMT （德国欧司朗）	±2%
TYG-2OOO/T3	50mm x 50mm	5pm	350味晰汞灯（曝光谱线：i线）	±2%

DS-2000系列无掩模光刻机

产品型号

技术特征

技术参数

DS-2000/14G 型

采用DMD作为数字掩模，像素数

1024x768或1920x1080或 25601600三

种选配.

采用缩小投影光刻物镜成像，分辨力 lum0

采用**技术一一积木错位蝇眼透镜实现

均明。

采用进口精密光栅、进口电机、进口导轨、

进口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接，

可适应lOOmmlOOmm基片。采用CCD

检焦系统实现整场调平、自动逐场调焦或

自动选场调焦曝光。

具备对准功能。

光源：350W球形汞灯（曝光谱线：i线）或紫外

LED ;照明不均匀性：2% ;物镜倍率： 7.6倍（或

14倍与选择的DMD像素尺寸有关）；曝光场面

积：lmmx0.7mm （或 1.9mmxl.8mm ，或

2.5mmxl.6mm ，与选择的DMD像素数有关）；

光刻分辨力： 1 p m ; 工件台运动范围： X :

100mm、 Y : 100mm ;工件台运动定位精度：0.

5pm ;调焦台运动灵敏度：lpm ;对准精度：2卩

m ;调焦台运动行程：6mm ;检焦：CCD检测，

检测精度2微米；转动台行程：±6。以上；直写

速度：40mm2/min ;基片尺寸；外径: 1mm—

100mm ，厚度：0.1mm--5mm。

DS?2000/14K型

采用DMD作为数字掩模，像素数

1024x768.

采用14倍缩小投影光刻物镜成像。采用专

利技术一一积木错位蝇眼透镜实现均明。

具备对准功能。

采用进口精密光栅、进口电机、进口导轨、

进口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接，

可适应lOOmmlOOmm基片。采用CCD

检焦系统实现整场调平、自动逐场调焦或

自动选场调焦曝光。

光源：350W球形汞灯（曝光谱线：i线）或紫外

LED ;照明不均匀性：2% ;物镜倍率：14 倍；曝

光场面积：lmmx0.75mm ;光刻分辨力：1 pm ;

工件台运动范围：X : 100mm、 Y :100mm;工件

台运动定位精度：0.65卩 m ;调焦台运动灵敏度：

lum ;

对准精度：2pm ;调焦台运动行程：6mm ; 检焦：

CCD检测，检测精度2微米；转动台行程：±6°以

上；基片尺寸；外径： 1mm—100mm ，厚度：

0.1mm--5mm。

创新点

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