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6″单温区CVD真空管式炉
6″单温区CVD真空管式炉

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辽宁

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沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品简介:6单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-6-S是一款炉管内径为6″的真空管式炉可以在不同气氛下,在≤5″的基片上生长多种薄膜。

产品型号

6单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-6-S

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头)

4、工作台:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重300kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1、双层壳体,配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能。壳体温度<70℃。

2、采用不锈钢真空密封法兰,使用双硅胶密封圈进行密封。

3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。

4、采用PID控制器,可以设置30段升降温程序。

5、已通过CE认证。

技术参数

1、电源:AC220V8KW

2、石英管:内径?152mm,长1016mm

3、加热元件:Ni-Cr-Al电阻丝

4、加热区域:600mm

5、恒温区域:200mm

6、工作温度:≤1100℃,连续工作400-1000

7、升降温速率:≤10/min

8、热电偶:双K

9、控温精度:±1

10、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

11、铠装热偶检测口:1

12、真空接口:KF40

产品规格

尺寸:1000mm×680mm×920mm;重量:250kg

标准配件

1

石英管

1

2

氧化铝管堵

2

可选配件

1、软件接口模块和PC

2石英管

3石英管堵

4K型热电偶?6.35mm×915mm,用于对炉膛温度校准)

5真空泵

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产品质量

10分

售后服务

10分

易用性

10分

性价比

10分
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