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产品名称 | VTC-100-SE基本型桌面式喷胶机 |
主要特点 | 1、可台面式操作，外形尺寸紧凑 2、超声波雾化或二流体雾化喷嘴可选 3、底盘旋转加热，XY电缸移动式喷胶 4、可处理**基片尺寸为8寸晶圆，向下兼容 |
技术参数 | 1、热盘温控范围：室温—150℃，温度分辨率：0.1℃ 2、温度均匀性：小于±1％（工作范围内） 3、胶体流速范围：1-20ml/min 4、电缸移动速度：1-200㎜/s 5、电缸定位精度：±0.02㎜ 6、电缸有效行程：300×300㎜ 7、超声波雾化粒径：小于50μm |
产品规格 | 外形尺寸：928（W）×800（D）×510（H）㎜ |
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