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红外加热喷雾旋转涂膜机
红外加热喷雾旋转涂膜机

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辽宁

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沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品简介:VTC-200-4P红外加热喷雾旋转涂、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、spin coater适用于半导体工艺、制版工艺及表面涂覆工艺,是一款上盖可以加热的匀胶机,在匀胶过程中进行烤胶,使薄膜迅速固化。工作过程中胶体以雾状喷到样片上,使胶体在样片表面均匀分布,有利于形成均匀的薄膜。本机电机部分、温度控制部分、注液部分分别使用独立电源进行控制,电机调速系统则采用了抗干扰性高的PLC进行控制,转数100-2000RPM范围内可调。涂膜机在工作时设有两个阶段,在启动前根据实际需要进行设置VTC-200-4P红外加热喷雾旋转涂覆机、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、spin coater启动快速、转数稳定,可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。对于样件的固定,采用橡胶吸盘和磁力钢片模板,不仅样件取放自如,而且操作简便。此外,在安装结构上,采取了减震措施,降低运转时的噪音。

产品型号

VTC-200-4P红外加热喷雾旋转涂覆机、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、spin coater

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:设备配有进出水口

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地。

3、气:不需要

4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kgs以上

5、通风装置:需要

主要特点

1、采用橡胶吸盘和磁力钢片模板固定样件,不仅样件取放自如,而且操作简便;橡胶吸盘和磁力钢片模板大小可根据需要进行定制。

2、该机上盖具有红外加热功能,可以使温度保持在一个稳定值。

3、本机上盖具有4组喷嘴,可使胶体以雾状喷在样片表面,使薄膜更均匀。

2电机部分、温度控制部分、注液部分分别使用独立电源的方式,电机调速系统则采用了抗干扰性高的PLC进行控制,数值显示更直观可靠,转数100-2000RPM内可调

3涂膜机在工作时设有两个阶段,在启动前根据实际需要,可分别进行时间1、转速1、时间2、转速2的设置。设置完成启动后,涂膜机先以转速1在时间1时间内运转,使涂膜物质逐渐分散开。当时间1时间结束时,涂膜机自动进入时间2时间阶段运转,使涂膜物质更加均匀。

3喷雾旋转涂覆机启动快速、转数稳定,可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。

4在安装结构上,采取了减震措施,降低运转时的噪音。

5、腔体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能;机身采用铸铝结构,结实耐用且质轻。

技术参数

1、电源:AC220/110V50/60Hz

2、电机功率:功率210W

3、双转速涂膜功能:双转速及涂膜时间分别设置,在启动后先低速运转(滴涂胶液),然后自动转换到高速运转(匀胶)。转速稳定(±1%),涂膜物质均匀。

转数1100-2000 RPM有效

时间11--200s有效

转数2100-2000 RPM有效

时间21--200s有效

4、适用于Φ153mm样件涂膜。

5、上盖加热温度范围:0-100℃

6、环境温度5-40℃,相对湿度不大于85%RH,设备周围无强烈震源和腐蚀气体影响。

规格尺寸

主机外形尺寸500mm(长)×410mm(宽)×330mm(高),重量24Kg

标准配件

1

磁性钢片模板(Ф160mm

1

2

吸盘(Ф153mm)

1

3

温控箱

1

4

蠕动泵

6

可选配件

橡胶吸盘

磁力钢片模板(可定制)

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产品质量

10分

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10分

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