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产品简介：本公司所售靶头适用靶材种类较广，如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形永磁体在靶头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。
靶头种类 | ||
直、折靶 | 方靶 | 自转转靶 |
公、自转转靶 | 多弧溅射弧源 | |
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