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产品简介:GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的*简单、可靠、经济的镀膜设备,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。
GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪操作视频
产品型号 | GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪 | ||
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:设备需选配自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水) 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀) 4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 5、通风装置:不需要 | ||
主要特点 | 1、设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。 2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体,以获得**镀膜效果。 3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。 4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。 5、根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。 6、溅射头采用Peltier制冷技术,可得到高性能、精细颗粒的涂层。 7、可用水冷溅射头、水冷载物台。 | ||
技术参数 | 1、靶:?50mm 2、真空室:?160mm×120mm 3、**真空度:≤4×10-2mbar 4、**电流:50mA(100mA) 5、可设定*长时间:9999s 6、微型真空气阀:连接?3mm软管 7、**电压:1600V DC 8、机械泵:2L/s | ||
产品规格 | 尺寸:360mm×300mm×380mm | ||
标准配件 | 1 | 金靶材 | 1个 |
2 | 进气针阀 | 1个 | |
3 | 保险丝 | 2个 | |
可选配件 | 金、铟、银、铂等各种靶材 |
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