产品名称

GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪

产品型号

GSL-1100X-SPC-16C

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀）

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通风装置：不需要

主要特点

配备了热蒸发附件，可以蒸发碳丝或者其他材料，如铝、不锈钢等材料，同时具有溅射和蒸发的功能。因此扩展了应用范围，特别适用于扫描电镜样品表面喷金或蒸金、蒸碳使用。

技术参数

1、靶：?50mm

2、样品台：?50mm

3、真空室：?160mm×110mm

4、真空度：4×10^-1mbar-2×10^-2mbar

5、极限电流：50mA

6、可设定极限时间：9999s

7、极限电压：1600V DC可调

8、真空泵：4L两级机械旋转泵，极限真空2×10^-2mbar（也可选配国产分子泵）

产品规格

尺寸：L400mm x W310mm x H390mm重量：50 kg

标准配件

1

金靶材

1个

2

碳绳

1根

3

钨丝篮

2个

4

热蒸发附件

1套

5

进气针阀

1个

6

保险丝

2个

可选配件

金、铟、银、白金等各种靶材