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产品简介:GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪主要应用于大专院校、科研机构、企业实验室及微小产品进行真空镀膜等真空处理的工艺研究、样板试制、操作培训和生产。
产品型号 | GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪 |
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 2、工作台:落地式,占地面积2m2以上 3、通风装置:需要 |
主要特点 | 1、采用桌面小型一体化结构,将真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计,体积与一台A3打印机相仿。 2、采用电阻式双蒸发源结构,可快速实现蒸发源的转换。蒸发单元中装有两组蒸发电极可安装不同的蒸发源,适应相应的镀膜材料。 3、配有0.1%精度蒸发电源,并具有恒流输出功能,对蒸发舟能起到很好的保护作用。 4、可选配石英晶体膜厚控制仪,在镀膜过程中对镀膜速率和膜层厚度进行控制。 5、可将采集到的镀膜数据保存到U盘,便于用户分析控制(选配)。 6、本机将所有功能设计成标准化模块,根据用户不同的需求对相应模块进行组合,以达到**化的镀膜环境,并便于用户维修与维护。 7、操作控制采用7英寸TFT显示屏显示操作界面,触屏操作,实现全图形化界面,易用易懂。 |
技术参数 | 1、电源:AC220V 1500W 2、蒸发电源功率:1000W 5V 200A 3、蒸发电极有效距离:44mm 4、样品台:?120mm(可旋转) 5、膜厚测量精度:0.1?或0.01?(可选配高精度型) 6、外接真空机组:国产分子泵机组(可选配扩散泵机组或进口分子泵机组)(不建议使用扩散泵) 7、极限真空度:>3.0×10-3torr(扩散泵)、8.0×10-4Pa(分子泵)(不建议使用扩散泵) 8、工作真空度:5.0×10-3torr 9、真空接口:KF40 10、使用环境:温度35℃,湿度<75%(相对湿度)不结露,海拔<1500m |
产品规格 | 尺寸:440mm×240mm×260mm(不包括真空机组);重量:约47kg(不包括真空泵 |
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