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CNI v3.0 -桌面纳米压印工具
CNI v3.0 -桌面纳米压印工具

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丹麦

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迈可诺技术有限公司

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桌面纳米压印机,易于复制微米和纳米级结构。

纳米压印(热和紫外线)

直径高达210mm圆形模板,带紫外线

150 * 150mm方片模板,采用热处理工艺

热压印

操作简单直观

用途广泛

即插即用

专为研发而设计

CNI v3.0 PV是用于纳米压印和热压印的小型桌面工具,可完成微米和纳米结构从模板复制到基质

CNI v3.0 PV纳米压印机可以执行热压印以及紫外压印,CNI纳米压印机是纳米复制的**起点,同时也支持成熟和高级的开发工作,纳米压印机操作简单,坚固耐用,便于非标准流程和新实验。

易于安装即插即用(不到20分钟的时间内就可运行工作)

优势凭借其热压印和紫外压印的功能,如果需要,在真空中,CNI v3.0 PV纳米压印机在其产品中是****的,并支持许多不同的技术和工艺。

使用方便无需查看使用手册,每个人都能使用;

紧凑尺寸26*30*14cm(120mm腔室的尺寸)

42*44*14cm(210mm腔室的尺寸)

安装 CNI结构紧凑,无需固定安装;

高质量压印能够将小于40nm的结构复制到大于100μm的结构;

多功能可使用任何尺寸的印章和模板,直径**210mm(8英寸)圆形模板

技术支持提供个性化支持,专注于您的加工需求;

特征:桌面大小的纳米压印工具

热压印温度高达250

紫外纳米压印,365nm曝光(or405nm自定义选项)

压印压力从0.311bar

在真空压印1mbar

印章和基材尺寸:直径可达210mm

印章和基材没有固定的样式

坚固且易于使用

手动装卸印章和模板

自动程控

软件操作界面简单

可记录所有步骤和流程

CNI V3.0支持许多不同的技术:

热纳米压印

UV纳米压印

热压印

微米结构压印

聚合物粘合

举例:

纳米结构压印

微结构压印

硅片上纳米间距的光栅压印

在软性的基材上压印(如III-V材料,InP

印章生产

高纵横比结构的热压印

聚合物热压印

热聚合物粘合

要求:

现场安装的技术要求

压缩干燥空气或氮气压力6-11bar,外径6mm连接器,流量至少应该1/2标准L/min

10mm外径连接器中,真空度优于0.1mbar(如果有真空选项);

功率110-240V (50-60HZ, 大于200W)

环境

应安装在干净、无尘和无颗粒的环境,以达到**效果;

工作温度范围10-35

工作湿度范围30-70%

其他

增压器:如果你的实验室不能提供高于6 bar的压缩空气压力,NILT可以提供一个增压器,可以将3-5 bar加到6-10 bar

真空泵选项:NILT建议使用Edwards nXDS6i干式涡旋真空泵。任何其他相似或更好规格的泵也可正常工作;

规格:

压力:0.3-11bar

温度:高达200,精度+/-1,可选高温模块,适用于250

紫外线曝光:120mm腔室中,波长为365mm405 nm的紫外线LED灯,光功率为12 W210 mm室中为~100mW/cm2~165mW/cm2光功率为57W

真空:可将腔室抽真空至低于1mbar的压力

腔室尺寸:- 直径120毫米,高度20毫米(**可扩展到45毫米)

- 直径为210毫米,高度**为20毫米(无法扩展)

自动复制过程:手动装载印章和基材;通过CNI软件控制,整个复制过程完全自动化软件:全程控制和灵活性除了装载和卸载之外的所有东西都由软件处理

CNI定制: 可根据您的需求定制

在线视频说明:在线安装视频和操作提示

可选项:增压器可将实验室压缩空气供应从3-5bar提升至6-10bar,由NLT人员进行培训和/或安装

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产品质量

10分

售后服务

10分

易用性

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