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FR-uProbe微米级薄膜表征
FR-uProbe微米级薄膜表征

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FR-uProbe是涂层表征应用的解决方案,要求光斑尺寸小至极小微米,例如微图案表面,具有不规则表面的样品,其表现出高水平的散射光和许多其它。使用FR-uProbe,在UV / Vis / NIR上的局部薄膜厚度,光学常数,反射率,透射率和吸光度测量只需点击即可。

白光反射光谱(WLRS)测量在一定波长范围内从薄膜或多层叠堆反射的光量,入射光垂直于(垂直于)样品表面。

通过来自界面的干涉产生的测量的反射光谱用于确定自支撑和支撑(在透明或部分/全反射基板上)薄膜堆叠的厚度,光学常数(nk)等。

应用

o大学和研究实验室

o半导体(氧化物,氮化物,硅,抗蚀剂等)

o MEMS器件(光刻胶,硅膜等)

o LED

o数据存储

o阳极氧化

o弯曲基板上的硬/软涂层

o聚合物涂料,粘合剂等

o生物医学(聚对二甲苯,气球壁厚等)

特征

o 单击分析(无需初始猜

o 动态测

o 集成USB

o 保存视频进行演示

o 350+不相同的材料

o 3年免费软件更新

o Windows 7/8/10上运行

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