首页 > 分析仪器设备 > 其他 >
NEE-4000 (A)全自动电子束蒸发系统
NEE-4000 (A)全自动电子束蒸发系统

参考价格

面议

型号

品牌

产地

美国

样本

暂无
那诺-马斯特中国有限公司

会员

|

第2年

|

生产商

工商已核实

留言询价
核心参数
产品介绍
创新点
相关方案
相关资料
用户评论
公司动态
问商家
留言询价
×

*留言类型

*留言内容

*联系人

*单位名称

*电子邮箱

*手机号

提交
点击提交代表您同意 《用户服务协议》《隐私协议》

虚拟号将在 180 秒后失效

使用微信扫码拨号

为了保证隐私安全,平台已启用虚拟电话,请放心拨打(暂不支持短信)
×
是否已沟通完成
您还可以选择留下联系电话,等待商家与您联系

需求描述

单位名称

联系人

联系电话

Email

已与商家取得联系
同意发送给商家
产品介绍
创新点
相关方案
相关资料
用户评论
公司动态
问商家

电子束蒸发技术

NEE-4000(A)全自动电子束蒸发系统概述

NANO-MASTER NEE-4000电子束蒸发系统有两种不同的构造可供选择。**种为垂直紧连的双腔架构,其中主腔体是14英寸的立方体,其内有样品台,底部二级腔体则用于安置电子束源。这种构造可在两个腔体之间装有门阀互锁,可实现主腔体放取片过程保持电子束源和坩埚的真空状态。若需实现自动上下片,通过在主腔体左边增加带真空阀门的进样室即可。这样,主腔体可以持续保持10-7托范围的低压,装片后几分钟内就可进行蒸镀。第二种构造为一个独立大腔体,基板上安装电子束蒸镀腔、磁控枪和热蒸镀。该构造可涂覆多种尺寸的晶圆,过程中使用行星运动的样品台。

NANO-MASTER公司可通过样片掩膜实现组合蒸镀,并可通过电脑控制单个电子束蒸镀的蒸镀速率。

NEE-4000系统特点:

  • 电抛光14"立方体或21"x21"x22"不锈钢优化蒸镀腔体

  • 680 l/sec 涡轮分子泵,串接机械泵或干泵

  • 4x 15CC pocket电子枪

  • 电子束源和基片遮板

  • 6KW开关电源,杰出的消弧性能

  • 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器

  • 膜厚监测,可设置目标膜厚作为工艺终点条件

  • 旋转样品台,提供高均匀性

  • 带观察视窗的腔门,便于放片/取片

  • PC全自动控制,具有高度的可重复性

  • Labview软件的计算机全自动工艺控制控

  • 多级密码保护的授权访问设计

  • EMO保护以及完全的安全联锁

NEE-4000系统可选项:

  • 基片加热(**可到800℃)或冷却

  • 带旋转的倾斜沉积

  • 行星运动式基片夹具

  • 基片RF/DC偏压

  • 基片清洗的离子源以及离子辅助蒸镀

  • 附加物理沉积源(热蒸镀,磁控溅射)

  • 用于反应蒸镀的MFC

  • 不同的泵组选择

  • 进样室和自动上下片/可支持单片和25片片夹

NEE-4000系统应用:

  • 剥离

  • 光学涂覆

  • 铜铟镓硒(CIGS)

  • 约瑟夫森连接

  • OLED

创新点

暂无数据!

相关方案
暂无相关方案。
相关资料
暂无数据。
用户评论

产品质量

10分

售后服务

10分

易用性

10分

性价比

10分
评论内容
暂无评论!
公司动态
暂无数据!
技术文章
暂无数据!
问商家
  • NEE-4000 (A)全自动电子束蒸发系统的工作原理介绍?
  • NEE-4000 (A)全自动电子束蒸发系统的使用方法?
  • NEE-4000 (A)全自动电子束蒸发系统多少钱一台?
  • NEE-4000 (A)全自动电子束蒸发系统使用的注意事项
  • NEE-4000 (A)全自动电子束蒸发系统的说明书有吗?
  • NEE-4000 (A)全自动电子束蒸发系统的操作规程有吗?
  • NEE-4000 (A)全自动电子束蒸发系统的报价含票含运费吗?
  • NEE-4000 (A)全自动电子束蒸发系统有现货吗?
  • NEE-4000 (A)全自动电子束蒸发系统包安装吗?
NEE-4000 (A)全自动电子束蒸发系统信息由那诺-马斯特中国有限公司为您提供,如您想了解更多关于NEE-4000 (A)全自动电子束蒸发系统报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
  • 推荐分类
  • 同类产品
  • 该厂商产品
  • 相关厂商
  • 推荐品牌
免费
咨询
手机站
二维码