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快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。
RSO-200快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用，适用于样品尺寸大、但是退火温度不太高的样品。
仪器特点：
- **工艺温度：650摄氏度；
- 加热区域：200mm x 170mm；
- 高性价比；
参考用户：
中电13所等。
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