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XTC/3薄膜镀层控制仪
XTC/3薄膜镀层控制仪

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英福康(广州)真空仪器有限公司

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简介

先进,实用的单层和多层镀膜速率控制

用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3

装备有ModeLock1**技术,提供验证的模式跳跃防止功能,可达到始终如一的镀膜质量. 使用XTC/3薄膜镀层控制仪,可高度精确地控制镀膜速率与膜层厚度, 具有能控制几乎任何膜层数量的能力,容易安装,和极高的可靠性,可确保高的生产率.

特 点

■ 有单膜层和多膜层型号

■ ModeLock**技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差

■ 支持INFICON Crystal 12, CrystalSix®和双传感器自动晶体切换,用于**生产率

■ XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程, 999个膜层, 32个镀层, 2个传感器和两个源

■ XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层, 2个传感器和两个源

■ 易阅读的TFT LCD图形显示器

■ 为便于检索,可指定独特的和描述性的薄膜与过程名称

■ 有以太网连接件

■ 单独运行(无需计算机)或用PC运行的Windows®软件选件

■ INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换件(限于XTC/2功能和指令组)

应用:

集成电路执照

光学镀膜

溅射镀膜

薄膜太阳能电池制造

OLED制造

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产品质量

10分

售后服务

10分

易用性

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