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一套OPSIS 系统可以监测多种物质。通常监测的气体，诸如为了符合电子厂的某些特别需求，监测HCL、HF、CL2、苯、甲苯、二甲苯、……
应用原理：差分吸收光谱法（DOAS）
系统结构：
监测项目：序号 | 监测项目 | 分析方法 | 供应厂商 |
1 | HCL | DOAS | 瑞典 OPSIS |
2 | HF | DOAS | 瑞典 OPSIS |
3 | CL2 | DOAS | 瑞典 OPSIS |
4 | 苯 | DOAS | 瑞典 OPSIS |
5 | 甲苯 | DOAS | 瑞典 OPSIS |
6 | 二甲苯 | DOAS | 瑞典 OPSIS |
7 | …… |
技术特点：
主要设备：
| DOAS 分析仪 | DOAS 接收/发射端 |
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环境空气苯系物在线监测系统，可参见“苯系物气体在线监测系统”
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