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德国BMT WLI VLA干涉仪
德国BMT WLI VLA干涉仪可快色准确的测量粗糙和镜面反射工件的表面轮廓。可用于测量平整度、波纹度、扭曲、台阶高度和多种其他表面特性。
产品特点:
•粗糙和镜面反射表面的微观测量
•平整度和轮廓测量
•测量结果不受样品的颜色和材料影响
•测量时间短,数秒完成
•测量范围大
•快速分析表面结构
•非常小巧
•自动获取数据并评估进行
•可定制各种配置
•几乎免维护
技术参数:
•光源 LED
•测量范围 (mm) 15
•垂直分辨率(nm) ≥1
•横向分辨率(μm) 20-80
•测量面积 (mm) 10×10— 40×40
•工作距离 (mm) 24
•数码相机<14位(Pixel) 1280×1024
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