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此款小型离子溅射仪主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合SEM 制样必备的仪器。设备配有微量充气阀调节工作真空，在 20Pa 真空保护。同时，配有专用进气口和微量充气调节装置，以方便空气或氩气等工作气体充入。
产品编号 | ZB-YQ1700 |
产品名称 | 小型离子溅射仪 |
玻璃处理室 | Φ100mm、高度130mm |
试样台尺寸 | Φ40mm可同时放6个样品杯 |
金靶尺寸 | Φ58mm |
真空系统 | 直联旋片真空泵2L/S |
真空检测 | 皮氏计 |
真空保护 | 20Pa配有微量充气阀调节工作真空 |
工作气体 | 空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节 |
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