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仪器简介:电子束入射到样品上,即可用光学方法接收并分析阴极发光(CL),从而提供样品详细的物理特性。它是一种无损的分析方法,结合电镜可提供与形貌相关的高空间分辨率光谱结果,是纳米结构和体材料的独特分析工具。
Flex-CLUE是一款高性能的CL分析仪器,适用于广泛的应用领域。它基于光纤传输,是适用于有限空间的集成化系统。
主要特点:● 光纤耦合
● 高效CL信号收集
● 扫描成像、线扫描、点测量
● 多种光栅选项
● 多种焦长光谱仪选项:140mm-320mm
● 光谱范围:200nm-1000nm或400nm-1700nm
重点应用领域:
阴极发光光谱仪(CL)是用来表征材料中的缺陷,元素和杂质追踪的强大分析工具,广泛适用于各个应用领域。
1、材料科学
● 半导体和光电材料
● 介电/陶瓷
● 氧化物膜
● 玻璃
2、矿物、地质
● 碳酸岩
● 晶体
● 金刚石
● 锆石、方解石、白云石3、公安4、生命科学
CL光谱及成像:
■CL光谱:使用CL测量光谱时,可在电镜下观察并选择待测样品区域。 | ■快速CL成像:将扫描电子束与您的光谱仪同步,提供快速成像方案。使用HCLUE系统测量的GaN样品,测量中使用了超快SWIFTTM成像模式。 |
矿物样品中的白云石和磷酸钙。测量使用Flex-CLUE系统,配备iHR320光谱仪和开放电极式CCD探测器。感谢Prof A. Jambon, UPMC France提供数据 | 左图:使用伪彩色显示350nm-450nm之间发射光谱区。figure 1, Hyperspectral CL mapping 中图:电镜下的样品图像。figure 2, SE image 右图:对应的光谱,其中不同色彩区域与左图中显示的颜色对应。figure 3, CL spectral (RGB) |
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