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一、熔融石英玻璃
康宁供应的熔融石英有许多不同的等级,以支持不同的产品应用。玻璃代码7980、7979 和 8655 是高纯度熔融石英玻璃,具有优良光学特性。
其产品特性包括:折射率变化极低,从而具有较高水平的同质性;双折射值极低;尺寸大;覆盖从紫外波段到红外波段的透光率;所有这些特性对满足客户的苛刻要求都至关重要。
二、低膨胀玻璃
CorningULE®7973是一种含钛硅酸盐低膨胀玻璃,这种玻璃专为满足遮蔽需求及用作紫外线光刻用途的光学基板而设计。7973 与 ULE® 7972 玻璃有相似的组成,也是采用相同的气相沉积工艺制作的。光刻技术从 193nm向13.4nm工艺发展中所需要的一个主要的设计转变,是步进光组由折射专为反射。 在反射光学中,基板材料应该是纯粹无源的。入射光应被多层光学涂层及光掩膜反射开,不会因底层基板造成任何机械或光学上的变形。为了使微小温度变化造成的变形减到*小,并达到严格的紫外线光刻规范,基板的热膨胀系数(CTE)必须接近于零,并在膨胀范围内严格控制在零附近。极低的热膨胀系数需要达到每摄氏度十亿分之一(ppb/C)。
三、氟化镁玻璃
氟化镁是一种耐用的低吸收晶体,适用于高功率激光、空间和其他紫外线应用。氟化镁 也是自然的双折射的,使它成为理想的可利用该特性的材料,如延迟板和偏振元件,特别是在0.13-0.30µm的波长范围内。单晶锭专门在美国采用高纯化材料生产,确保一致的供应。全方位的形状和表面,从坨料、坯料到复杂的多面,高度抛光零件都可选择。提供了标准的(001)取向以及定制取向的零件和材料。各种表面处理和涂层可以定制和组合以满足个别客户的标准。
四、氟化钙玻璃
氟化物晶体材料具有特殊的纯度和质量,晶体材料在多波长下传输,可用于各种应用。康宁公司还提供设计工程、制造、抛光和涂层能力。氟化钙是独特的适合苛刻的深紫外线到红外光学应用。氟化钙物理稳定,化学惰性强,硬度高,是微光刻和激光光学应用的**材料。单晶锭采用康宁公司的高纯化材料工艺,确保高质量晶体等级的持续供应。一系列全方位的形状可供选择,从钢锭到坯料和成品,包括复杂的多面结构和高度抛光的零件。我们提供标准定位,以及特定定位的零件。多种材料等级可满足客户的需求;可见红外、紫外线、准分子、超准分子和激光耐久性。低吸收性涂层是根据客户的标准而定制的,包括在反射、抗反射和部分反射应用中增强激光耐久性的涂层。
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