●该设备为公司根据客户工艺需求定制，与中国科学院某研究所国家重点实验室联合研制，先后获得奖励3项，联合申报国家2项，用于固体润滑、防腐和超硬表面改性等领域，服务于科研和国家重大项目需求，具有多功能、高稳定和**的特点，欢迎各位联合研制。

●设备主要由真空腔体、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、离子轰击系统、充气系统和在线测量系统组成，同时匹配空气压缩气体气源和水冷系统，可根据客户使用需求定制。

●真空腔体：φ900X1050，双层水冷；（可根据实际需求定制）

●真空系统：分子泵+低温泵+罗茨泵+机械泵复合真空系统；

●真空抽速：4000-7000L/S，进口全量程复合真空计，全金属防爆真空规；

●极限真空：6.7X10-5Pa；（根据客户选择主泵确定）；