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碳化硅单晶生长炉主要应用于生长6英寸N型及半绝缘碳化硅单晶衬底。碳化硅单晶具有高热导率、高化学稳定性、低热膨胀、高饱和电子漂移率等优点，在白光高效照明、电力输送与转换、耐高温电力电子器件等民用领域应用广泛，同时在雷达通讯、航空母舰、舰舶等军事领域可提高军事电子系统和武器装备的性能，有着明确应用背景。
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