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三氯化硼(BCl3) | |
化学式 | BCl3 |
中文名称 | 三氯化硼 |
英文名称 | Boron Trichloride |
CAS No. | 10294-34-5 |
分子量 | 117.17 |
充装系数 | 1.20kg/L |
应用 | 在半导体生产中用于P型半导体的扩散源;离子注入;等离子刻蚀金属。用于多种化学反应。 |
产品规格 | ≥99.9%~≥99.9999% |
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