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用于生长半导体晶体的所有工艺都在高温、侵蚀性环境下运行,无论是硅的CZ法、蓝宝石的HEM法还是碳化硅块状生长的PVT法。这就是工业晶体生长炉的热区通常配备耐热和耐腐蚀石墨部件的原因。
我们的产品组合包括由高强度同质等静压石墨或碳纤维增强碳(CFRC)制成的加热器、坩埚、反射器和隔热罩,以及硬毡或软毡和SIGRAFLEX®箔中的绝缘部件。
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