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连续式磁控溅射镀膜设备主要用于在平板玻璃、压克力、PC、PET等表面镀制高质量、高性能金属膜、电磁屏蔽膜、反应膜、复合膜、透明导电膜、抗反射(AR)、增反射膜,LOW-E等膜层。本公司可按用户要求提供设计,提供全套镀膜设备,负责工艺,按交“钥匙”工程服务。
设备特点:
1.设备采用真空磁控溅射技术,孪生阴极,中频溅射技术,并配以先进的控制系统 。
2.生产过程全部自动,连续进行。被镀工件加热温度**可达350℃,温度分区控制可调。
3.真空室材料采用SUS304,真空室内壁进行抛光处理,外壁采用抛光后喷漆处理。
4.真空室之间采用独立门阀隔开,我们设计的是插板阀,可以有效隔断,稳定工艺气体。传动采用磁导向,保障传动的稳定性。整条生产线的各段速度采用变频调速电机驱动,运行速度可调节。
5.电气控制系统:触摸屏与PLC自动控制,人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与控制。
1.极限真空:7x10-4Pa.
2.生产周期40~120秒/架
3.基本架尺寸:859*1500mm (可以根据要求定做)
4.膜层均匀性:±2%
5.膜层稳定性:达到国际标准
玻璃、导电膜
广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域
适用于柔性电致变色器件、柔性薄膜太阳能电池、柔性EL发光器件的制备和生产
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