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主要技术参数:研磨抛光**晶圆尺寸4英寸;盘速5-100rpm;滴料1-100ml/min均匀可调;无动力阀门供料;摆臂摆动幅度0-15度可调;摆臂摆动速度均匀可调;.全液晶屏控制。
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