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EA-160是一款全自动非接触式表面测量仪。利用光谱共焦原理,EA-160可用于膜厚线宽测量、微观尺寸测量、高度差测量、平面度测量、共面度测量、粗糙度测量等,也可对透明半透明材质进行多层尺寸测量。高精度、高速测量,结合强大易用的软件,EA-160膜厚测试仪被广泛应用于微电子、半导体、5G、3D玻璃、新型医疗、精密工业制造等领域。
应用领域:
HTCC膜厚线宽测量、LTCC膜厚线宽测量、SOFC印刷厚度测试、厚膜电路测量、晶圆涂胶测量、MEMS测量、SENSOR测量、太阳能硅片测量、芯片形貌测量、透明材质测量、环氧树脂测量、印刷图形测量、激光镭雕测量、Wafer槽深测量、断差测量、Lens测量、油墨厚度测量、蓝宝石厚度测量、曲面镜片测量
特点:
高速度、高精度自动测量系统
**160mm*160mm 范围测量
透明材质穿透测量
测量膜厚、线宽、平面度等
多程序自由切换,方便灵活
参数:
设备品名 | 全自动非接触膜厚测试仪 |
设备型号 | EA-160 |
XY测量行程 | 160*160mm |
Z轴可调行程 | 50mm |
扫描*小步距 | 1um |
**扫描速度 | 30mm/s |
陶瓷检测重复精度 | ±0.5μm |
Z向分辨率 | 1nm |
横线分辨率 | 0.1um |
光栅尺分辨率 | 0.01um |
量程 | 1200um |
测试方式 | 可编程自动测量 |
MARK类型 | 圆形、方形、十字、菱形、多边形、不规则图形 |
载物平台 | 微孔陶瓷真空吸附平台 |
膜厚测试 | 支持 |
线宽测试 | 支持 |
粗糙度测试 | 支持 |
透明材料自动测厚 | 支持 |
孔深、刻槽深度测试 | 支持 |
测量原理 | 光谱共焦 |
CCD视觉 | 500万 |
红外激光对准器 | 标配 |
数据输出 | Excel、CSV格式、JPG格式 |
数据分析 | CPK |
数据统计 | 平均值,**值,*小值,极差,标准差,CP,CPK,良率,总数 |
数据接口 | 串口协议、网口协议 |
接口类型 | RS485、RS232、RJ45 |
数据存储 | 存储位置任意指定 |
数据回测 | 任意节点数据回测 |
MES信息化系统 | 支持 |
设备日志 | 具备 |
操作系统 | WIN10 |
校验标准块规 | 标配 |
三角块规 | 标配 |
外观尺寸 | 950*650*500mm |
电源 | AC220V±10%,50-60Hz |
气源压缩空气 | 0.3~0.7Mpa或真空气源 |
重量 | 250KG |
工控主机 | 内存8G、固态硬盘480G、显示器23.8“、分辨率1920*1080,高速千兆网口PCI*2 |
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