纯度:
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电子式:NH4OH
CASNo:1336-21-6
用途:超纯氨水主要应用于半导体芯片生产的工艺间清洗,去除晶圆芯片表面的水迹,油污和无机物尘埃等,是芯片加工中必不可少的材料。
说明:我司所生产的电子级氨水主含量(28.5-29.5)%,单个杂质金属离子含量≤10ppt,硫酸根≤20ppb,磷酸根≤10ppb,颗粒(≥0.1μm)≤25个/ml。
产品优势:由于在超净高纯电子级氨水的精馏纯化过程中,气体中夹杂的雾滴会污染*终产品,导致产品无法达到半导体企业所需要的10ppt 级别水平。于是我司研制了超纯的PTFE丝网除雾器替代传统材质的丝网除雾器,解决了液氨气化过程中雾滴不易去除的难题,满足氨气纯化需求,保证了半导体企业所需的纯度要求。
包装:200公斤压力容器,1000公斤IBC桶,20吨TANK罐
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