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钻石碟表面的金刚石颗粒不能有叠砂,表面必须足够平整;表面的金刚石分布密度要足够多,保证一定的磨削能力;修整器表面的金刚石颗粒在研磨抛光垫的过程中不能脱落,以免脱落的金刚石颗粒划伤晶圆表面。
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