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结构:主要由Y轴大理石直线电机模块及Z轴精密移动模块组成,还包括涂布头,涂布头调节模块,注液模块,风刀模块及电控部分组成。工艺:所选涂料经过注液泵注入高精度涂布头,基材在大理石平台上被真空吸附定位,涂布头调平后直线电机平台装载基材移动,完成基片均匀涂布。
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