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ALICAT 低压损气体质量流量控制器 21W系列品牌
朗润达产地
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量程为0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.75% 读数或± 0.1% 满量程（取**值）
质量流量高精度 ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取**值）
重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.03% 满量程 / ℃温差
± 0.01% 满量程 / Atm压力差
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