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全自动去边清洗机
全自动去边清洗机

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全自动去边清洗机

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产地

无锡

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联盛半导体科技(无锡)有限公司

高级会员

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第1年

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核心参数
  • 压电变频能量转换器:

    -
  • 超声功率:

    -
  • 处理容量(L):

    -
  • 温度范围:

    -
  • 定时器范围:

    -
  • 适用物料:

    硅片
  • 功率(kw):

    -
  • 重量(kg):

    -
  • 规格外形(长*宽*高):

    -
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1、适用于 6-8”硅片的去边处理;
2、两套机械吸盘自动上下料,由机器人把硅片从上料端搬运到下吸盘,自动对位;
3、真空吸盘吸附的方式进行硅片的搬运;
4、下料位有独立的下料槽,冲水下料,自动进到片夹;
5、设计纯水再利用;
6、去边精度0.6mm;
7、 控制部分采用进口品牌PLC 和HMI,所有可能与酸雾接触的电气及线路均经PFA防腐隔绝处理,电气柜CDA/N2充气保护其中的电器控制元件;
8、机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧。
9、设备设计标准按半导体行业标准(SEMI-S2-93)执行,ISO9001质量管理体系进行规范和保证。

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产品质量

10分

售后服务

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易用性

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性价比

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