介质要求 ；  洁净干燥气体

气体种类  ； 98+气体可选

量程 ；10，20，50，100，300，500 sccm

          0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

测量范围   ； 0.5%-100% F.S.

准确度  ；  ±0.5% F.S.

重复精度   ；  ±0.2%F.S.

线性度  ；  ±0.2%F.S.

分辨率 ；  0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）

传感器响应时间   ；<1s

预热时间 ；  5 min（T95），30 分钟**

机械特性

**工作压力  3 MPa（30bar）

工作压差范围  0-1 MPa

工作温度范围  -20~65℃℃（环境和气体）

温度范围  0 ~ 98%无凝露

气路接头类型  快插、快拧、卡套、VCR（可选）

气体接触材质  氟橡胶、316不锈钢

密封材质  氟橡胶 FKM

防护等级 IP40

安装方式 水平安装方向校准

固定孔 M4 ↓ 5mm

重量  0.82kg

电气和通讯 电气连接接口类型  DB9 公头

模拟信号  0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）

输入输出阻抗  输入阻抗>10MΩ，输出阻抗<1KΩ

模拟数据更新频率  200Hz

数字信号  RTU （RS232， RS485），CAN

通信速率  9600（默认），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（可修改）

电源 15-40 VDC，<200 mA

显示更新频率  50Hz

模拟信号精度 ±0.05%F.S.

特征

标况  20℃ & 1 atm

气体选择  98种气体可选，具体参考说明书气体系数

软件 Aitoly分阶流量软件