非金属电热元件：
其他金属电热元件：
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LPCVD用于淀积Poly-Si、SIPOS、SiO2(LTOTEOS)、P*Poly-Si、N*Poly-Si、SiN(LSSiN)、PSG、BSG、BPSG等多种薄膜。广泛应用于半导体集成电路、电力电子、光电子及MEMS等行业的生产工艺中。
设备主要特点
◎ 采用先进的闭环控制系统，压力稳定无波动
◎ 高精度温控系统
◎ 工艺薄膜均匀性优异
★支持SECS/GEM通讯
主要技术指标
◎ 适用硅片尺寸:4~6"
◎ 工作温度范围:350℃~800℃
◎ 恒温长度:300-1100mm(可定制)
◎ 系统极限真空度: 10mtorr
◎ 工作压力范围:100~400mtorr可调
工艺类型
◎ Poly
◎ D-Poly(P+/N+)
◎SIPOS
◎BPSG
◎ SiO2 (LTO TEOS )
◎ 工艺均匀性:
◎SiN(LSSiN)
片内≤±2% 片间≤±2% 批间≤±2%
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