非金属电热元件:
其他金属电热元件:
其他烧结气氛:
氮气温控精度:
±1℃最高温度:
1150℃额定温度:
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一、设备名称:SLA3804-1112ZNO型气氛烧结炉
二、技术指标与基本配置:
主要用于DBC陶瓷覆铜箔在N2、O2混合气氛条件下的高温烧结等热处理工艺,具体说明如下:
2.1 额定温度:200~1100℃;**温度:1150℃
2.2 有效高度:40mm
2.3 网带宽度:385mm
2.4 网带材质:Cr20Ni80
2.5 **负载:35Kg/m2(不含网带自重)
2.6 炉膛结构:采用大炉腔Inconel601材质马弗炉管结构,马弗底面铺满支撑马弗刚性的支撑盒(马弗底部铺满弥散气盒)
2.7 传动系统:大包角摩擦传动
2.8 调速范围:30~200mm/min,变频无级调速
2.9 加热元件:陶瓷纤维加热模块
2.10 烧结气氛:氮气+氧气
2.11 气路组成:详见3.2技术说明
2.12 氧含量检测点:氮气气源、升温区、高温区、降温区、冷却区、氮氧混配气气源(5点)共十点不锈钢检测管路并连接到氧分析仪,通过电磁阀来选择切换点,可实时检测炉内氧含量,方便调节与选择进气量大小
2.13 氧含量(配氧分析仪表在线分析,纯氮气氛下检测):
升温区≤15ppm+气源氧含量
高温区≤10ppm+气源氧含量
降温区≤10ppm+气源氧含量
冷却区≤15ppm+气源氧含量
2.14 排气系统:进口过渡套设置1个排气管(详见3.2技术说明)
2.15 冷却方式:采用气冷和水冷相组合的方式冷却,冷却水套1点水温检测
2.16 结构划分:(详见3.1技术说明)
2.17 控温稳定度:±1℃
2.18 炉膛温度均匀度:±2℃(恒温区,网带宽度横截面方向)
2.19 升温速率:≤2℃/min
2.20 温区个数:11个
2.21 控温点数:33点(每温区左中右独立控制)
2.22 前段热偶类型:K分度(第1至第4温区)
2.23 后段热偶类型:S分度(第5至第11温区)
2.1 报警指示:超温、欠温、变频器报警、断偶、低气压、低水压、网带过长等声光报警
2.24 停电保护:加装手动摇出装置
2.25 停带保护:进出口端板各设1个急停按键
2.26 表面温升:<35℃
2.27 加热功率:约88kw
2.28 空炉保温功率:≤24kW
2.29 重量:约4200Kg
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